화공안전기술사 134회 1교시 11번

국내 반도체 사업장은 법적 규제 이외에 자체적으로 안전기준을 마련하고 있다. 대표적인 제도가 국제반도체장비재료협회(SEMI: Semiconductor Equipment and Materials International)에서 제정한 규격을 활용하여 안전을 확보하는 것이다. 추적 가스(일반적으로 99% 질소, 1% 유해화합물) 혼합물을 통해 실제 가스 등으로 방출 농도를 계산하여 위험성을 파악하는 공식이 SEMI S6 에 제시되어 있다. 이에 대하여 설명하시오.